​邑流微測聚焦台積3奈米 定義先進濕製程檢測新標準

出版時間:2019/04/16 07:53

工研院出身的新創公司邑流微測(FlowVIEW Tek),專注於提供液態樣品奈米檢測的全方位解決方案(Flow AOI),運用獨家開發的AI影像分析軟體,突破既有液態檢測模式的技術困境,未來更將全力搶進台積電3奈米先進製程的濕製程檢測商機。
 
邑流微測專注於提供液態樣品奈米檢測的全方位解決方案(Flow AOI),並致力於生醫、半導體與能源和環境等領域的奈米檢測系統整合與服務,技術初期由工研院技轉,而在經過團隊努力後,目前已有專屬於公司的更新技術突破與專利佈局。
 
邑流微測已陸續取得台灣、大陸、日本、美國專利。在技術面上,分別布局在微熱流控制、電子束檢測、半導體檢測、生醫光學檢測與能源材料分析等領域,已建構出堅實的專利圍牆。
 
在技術發展的過程中,邑流微測陸續獲得工研院專利地圖布局競賽冠軍、工研院傑出研究獎並代表工研院競逐全球百大發明獎(R&D 100)、日本Tecplanter創業競賽台灣區冠軍等。
 
積體電路發明60年,超越半世紀以來,繁複過程中不可或缺的製程檢測僅有單一固態的乾式檢驗,但半導體多道製程中,包括晶圓生產的黃光蝕刻、薄膜、顯影等製程中,都必須使用到液體或揮發性材料,如CMP研磨液、光阻液、蝕刻化學製品、去離子水等。
 
邑流微測指出,產業一貫的分析作法是將濕式材料烘烤後,變成固態,經烘烤後的液態材料必然產生團聚或變質,因此半導體產業在液態材料的監測上,常態性的觀測均已非原位形態的失真樣本,受限於濕製程檢驗的高端技術困境難以突破,半導體產業選擇退而求其次的檢測方案,並已行之多年。
 
邑流微測的自主研發的液態SEM載台與微奈米級漿料分析技術,以領先全球的高解析度影像顯示液體內微奈米粒子的原始分布狀態,樣本無需前置處理作業,於監測現場30秒內便能搭配同為自主研發的AI人工智慧分析軟體揭露顯示半導產業在濕製程常年以來懸而未解的液態微奈米材料之謎。
 
邑流微測突破僵固的技術侷限,傳統光學無法到達200奈米以下的量測之境、其它電子顯微鏡的物理瓶頸、活體細胞奈米級結構的無法觀測、液態樣本失真的必然性都將不復存在。
 
技術研發積累近10年,創辦人李信宏博士2017年自工研院量測中心衍生創立邑流微測,團隊成員囊括各界產學菁英,將液態檢測(Flow AOI)技術擴展結合至多元技術領域,如自動微流道控制、生物醫學光學檢測,並以10奈米等級的高端監測精度成為台積電、宜特的合作夥伴之一。
 
針對晶圓製造的濕製程提供全方位解決方案,以電子束檢測CMP研磨液、光阻液、蝕刻化學製品、去離子水等,並延伸應用至能源產業,協助電動車電極及智慧手機電池相關研究、太陽能產業的銀漿與鋁漿的效益檢測等。
 
創立迄今,邑流微測客戶足跡遍布全球,海涵歐、美、日、韓,並在美國、日本、中國、台灣獲得發明專利,突破性的獨家全方位液態檢測方案旋即獲產業界巨擎青睞,客戶組合中更有美國ThermoFisher、德國Heraeus、日本Toray、韓國LG Chemical等等科技領域的世界領導者,並已擴展版圖至生醫領域與台北醫學大學密切合作。(楊喻斐/台北報導)

 
 


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