瞄準台積電先進製程商機 默克大舉加碼投資高雄廠

出版時間: 2020/09/25 12:31
更新時間: 2020/09/26 15:55
圖片來源 : 公司提供

台積電正在全力衝刺5奈米製程,3奈米預計2022年量產。台積電全力在南科擴大先進製程產能,也掀起聚落效應,重量級外商企業為了配合台積電所需,紛紛砸錢投資南台灣,其中半導體材料供應商默克集團選擇高雄廠為未來5年投資重鎮,高雄廠未來5年內不但要增加40%的人力,也要擴產50%,屆時,台灣半導體材料的產能將佔集團全球比重將大幅提升。

根據SEMI統計,台灣已連續10年稱霸全球半導體材料採購市場,2019年總金額達113億美元。因此,默克將台灣視為重要策略市場及技術發展重鎮,特別是在奈米製程扮演關鍵角色的沉積材料技術。

台灣默克集團董事長謝志宏表示,已擬定長期投資計畫,目標是建立與提升默克位於南科的高雄廠之相關核心能力。此擴建計畫將增加在地化創新與生產技術、確保安全營運與卓越供應,並透過與客戶的更緊密合作與縮短溝通時間,加速半導體客戶的創新研發步伐。」

默克台灣半導體科技事業部總經理莊鎮遠透露,將全力將高雄廠打造成為半導體沉積材料生產重鎮,建置新廠房,以容納更多尖端研發與生產設備,為未來5年默克在台灣投資的重心,未來5年內,高雄廠不但要增加40%的人力,也保有增加50%以上的生產面積。

莊鎮遠表示,高雄廠將成為默克在全球沉積材料很重要的研發與製造中心,並將產能供應鄰近的南韓與日本。

據了解,到2020年底,默克在高雄廠建置1條全新的半導體先進製程 low-K(低介電)和 high-K(高介電)沉積材料產品線,明年1月正式量產,可以提供樣品給客戶,未來將積極取得台積電5奈米認證通過,也希望可以導入3奈米製程。

默克這次在SEMICON Taiwan 2020分享半導體科技趨勢與技術演進,繼去年宣布併購慧盛先進科技和Intermolecular公司後,默克儼然成為業內唯一完整涉略在前段與後段製程中的7大關鍵步驟的公司,包括摻雜、圖形化、沉積、平面化、蝕刻與清洗、以及封裝技術。

默克特用材料事業體半導體科技全球負責人暨執行副總裁連安南(Anand Nambiar)表示,數位轉型的加速發展帶動了對晶片的需求量,進而提升對創新材料的需求。默克身為一家整合型電子材料公司,有足夠的創新能量、核心技術和生產能力,以因應數據海嘯時代的到來。同時,透過Intermolecular的數據分析、測試與表徵能力,能提供符合業界需求的客製化材料解決方案。

連安南指出,現行的EUV極紫光微型化技術主要應用於先進7奈米製程,就是透過以EUV為主的單次圖形化技術來創造更小的晶片體積。但當邁向5奈米前進時,則需利用其他解決方案如雙重圖形化(double patterning)EUV和High-NA EUV技術來實現,惟這些製程複雜又昂貴,仍需克服許多挑戰。

連安南表示,定向自組裝技術 (directed self-assembly,DSA)證實是邁向5奈米技術的另一項既聰明又符合成本效益需求的選擇。默克正積極布局以上下世代製程所需之創新材料科技,以協助突破微型化與圖形化製程中的關鍵瓶頸。

電晶體微縮化之所以越來越昂貴,是因為業界習慣以「由上而下」形式開發更小體積的晶片。然而要延續摩爾定律,還能採取「由下而上」的新作法。默克是「由下而上」方法的材料專家,透過「聰明」材料解決方案,能縮短開發時間、降低成本和減少結構複雜性。

「由下而上」方法包含多種尖端技術的組合,從自對準型圖形化技術 (self-aligned patterning)到自限制型技術(self-limiting process),如原子層沉積技術(atomic layer deposition,ALD)和定向自組裝技術 (DSA)。默克在上述技術均有投入研發,期待能帶來簡化製程、提升良率、節省成本等效益。

未來發展期程不僅趨向微型化,還朝向更複雜的結構進行,默克致力於發展解決方案,以克服奈米級的微縮化及3D結構所帶來的挑戰,如微型化製程與填洞步驟,因此,挑選適合的沉積技術是實現新型晶片結構的關鍵。

現階段所有許多類型的技術應用於氧化矽填洞技術,包括旋塗式介電(SOD)、流動式化學氣象沉積(FCVD)、原子層沉積、以及化學氣象沉積技術。為了優化晶片效能,默克期待能結合以上技術,提供最具協同效益的整合性解決方案供客戶使用。

默克集團在擁有10個據點以及1000名員工,其中台北辦公室包含醫療保健事業體、生命科學事業體、表面應用科技事業處、半導體事業處。桃園廠位於觀音工業區,為液晶與OLED材料應用研發以及生產中心。新竹廠位於湖口唐榮科技園區,主要生產光阻材料以及TARC材料生產據點。

另外,默克在竹東、竹北都設有應用實驗室,台南廠為半導體相關材料生產據點,高雄廠為前驅物與封裝材料應用實驗室與生產據點,未來將會以高雄廠為投資重心,目前廠區用地仍有空地,將為未來擴充所需。(楊喻斐/台北報導)

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